关于PG电子在线试玩大型仪器开放共享 有偿使用收费标准的公示
发布时间：2026-11-10 发布人：杨武
根据《合肥工业大学大型精密仪器设备管理办法》文件要求，PG电子试玩纳入合肥工业大学大型仪器设备联合共享服务平台（//yqgx.pgdemoplay.net）的仪器设备实行开放共享，统一管理，有偿服务，统一收费。现对PG电子试玩进入共享的仪器设备有偿使用收费标准进行公示。公示期为2026年11月10日至2026年11月16日，公示期内如有异议，可实名向PG电子在线试玩实事求是地反映问题。
联系电话：0551-62919106
电子邮箱：[email protected]
| 序号 | 设备编号 | 设备名称 | 设备负责人 | 收费标准（校外） | 收费标准（校内） | 收费标准（院内） |
| 1 | 20134474 | 紫外光刻机 | 罗林保 | 600元/小时 | 200元/小时 | 60元/小时 |
| 2 | 2506158S | 精密阻抗分析仪 | 马渊明 | 1000元/小时 | 400元/小时 | 120元/小时 |
| 3 | 2100752S | 微波暗室近磁场测试系统 | 桑磊 | 3500元/小时 | 1200元/小时 | 350元/小时 |
| 4 | 2102872S | 矢量网络分析仪 | 桑磊 | 2000元/小时 | 700元/小时 | 200元/小时 |
| 5 | 2001355S | 真空镀膜机及水冷系统 | 黄文 | 1000元/小时 | 350元/小时 | 100元/小时 |
| 6 | 2007491S | 等离子增强型化学气相沉积系统 | 黄文 | 1000元/小时 | 350元/小时 | 100元/小时 |
| 7 | 1900524S | 扫描电子显微镜 | 罗林保 | 600元/小时 | 200元/小时 | 60元/小时 |
| 8 | 2600350S | 深能级瞬态谱仪 | 陈俊伟 | 2500元/小时 | 1000元/小时 | 200元/小时 |
| 9 | 2202248S | 电子束曝光系统 | 罗林保 | 200元/小时 | 100元/小时 | 50元/小时 |
| 10 | 2202304S | 电子束蒸发镀膜机 | 罗林保 | 200元/小时 | 100元/小时 | 50元/小时 |
| 11 | 2202306S | 原子层沉积系统 | 罗林保 | 200元/小时 | 100元/小时 | 50元/小时 |
| 12 | 2203072S | 离子束刻蚀机 | 黄文 | 600元/小时 | 200元/小时 | 60元/小时 |
| 13 | 2203073S | 反应离子刻蚀机 | 黄文 | 600元/小时 | 200元/小时 | 60元/小时 |
| 14 | 2300629S | 探针台 | 于永强 | 400元/小时 | 200元/小时 | 60元/小时 |
| 15 | 2347920S | 半导体参数分析仪 | 于永强 | 400元/小时 | 200元/小时 | 60元/小时 |
